DEM/6699/06-1Expiré
8414.10.81.90
DE-29 nov. 2006→28 nov. 2012
Kryopumpe (gasbindende Vakuumpumpe)
- aus einem Metall-Pumpenkörper mit zweistufigem Kaltkopf mit Kondensationsflächen,
Aktivkohleelement, Vakuumbehälter, Ventilsystem mit Vor-, Absaug-, Überdruck- und
Ablassventil, Unterdruckmesser, Temperatursensoren, elektrischer Heizvorrichtung,
Elektromotor, Mikroprozessor-Steuerung und Anschlüssen für Verbindung mit einem
geschlossenen Kältemittel-Kreislauf (Abbildung siehe Anlage),
- zur Erzeugung eines Hochvakuums durch Kondensation von Gasmolekülen am
Kaltkopf und Abscheidung von Gasmolekülen durch die Aktivkohle,
- zur Integration in eine Sputteranlage,
- lieferbar in verschiedenen Modellversionen.
"Vakuumpumpe, nicht für zivile Luftfahrzeuge - Kryopumpe"