FRBTIFR-BTI-2020-007758103909090
Cible de pulvérisation pour machine de dépôt de revêtement sous vide, sous la forme d’un dispositif constitué d’un support en inox (cadre rectangulaire) de connexion à la machine et de deux volumes (chaque volume cible porte un numéro d’identification distinct; 1 volume de tantale (Ta) pur à plus de 99% de dimensions approximatives 304 mm x 356 mm x 6,5 mm pour une masse estimée de 11,4 kg, 1 volume de silice (SiO2) pure à plus de 99% pour 304 mm x 356 mm x 9,5 mm et 2,33 kg) de matières insérées/brasées dans le support. La cible est consommée partiellement durant la pulvérisation des matières dans la machine de dépôt de revêtement sous vide et peut être l'objet d'une revalorisation quantitative et qualitative des matières au regard des impératifs techniques de consommation, et est présentée avec un accessoire métallique et conditionnée dans une valise de protection.