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Laseranlage - aus einem 2-Kammer Excimer Laser, einer Strahlführungseinheit aus Ausgangsstrahl- Monitoreinheit, Abschwächer, Strahlaufweitungsoptik und elektrisch steuerbaren Umlenk- spiegeln, Monitoreinheit für Strahlrichtung und -position, optischem Verschluss (Shutter) Beleuchtungsmodul, Blende, Abbildungsoptik, Strahlmonitor, Vakuumspanntisch (Chuck) und Positioniersystem - zur Herstellung von Substraten für Flachbildschirme (TFT-Bildschirme) durch Umkristal- lisation von amorphem Silizium in polykristallines Silizium. "Maschine von der ausschließlich zum Herstellen von Flachbildschirmen verwendeten Art, keine Ware der Unterpositionen 8486 3010 bis 8486 3050 - sog. Laseranlage"

Ozongasgenerator (Abbildung siehe Anlage), - aus Ozongeneratormodul, Hochspannungsgenerator, Rohrleitungen, Ventilen,   Kühlvorrichtung, Sensorsystem und Steuerplatine, in einem Metallgehäuse mit   Anschlüssen für Gaszufuhr bzw. –abgabe, Stromanschluss sowie Bedien- und   Anzeigeelementen, - mit einer Abmessung von 483 x 445 x 267 mm und einem Gewicht von 46,3kg, - zur Bereitstellung von Ozon durch Erzeugung aus Sauerstoff mittels stiller   Entladung, - zur Verwendung in Halbleiter-, Flachbildschirm- und Photovoltaikindustrie. "Maschine von der hauptsächlich zum Herstellen von Halbleiterbauelementen oder  Flachbildschirmen verwendeten Art, andere als Codenummern 8486 1000 00 0 und 8486 2000 00 0"

Startlocherodiersystem - aus einem Standgehäuse mit Elektroden-Spannfutter, Keramikführung, Linearführung und   Dielektrikumfilter, geliefert mit Werkzeug (Abbildung siehe Anlage), - zum funkenerosiven Bohren von Startlöchern in elektrisch leitfähige Werkstücke zur weiteren   drahterosiven Bearbeitung dieser Werkstücke, - in einer gemeinsamen Verkaufsumschließung mit 20 Röhrchenelektroden, 1 l Deionisierharz,   USB-Stick und Werkzeugkiste (Beipack). Das Startlocherodiersystem bestimmt den Charakter des Ganzen. "Elektroerosionswerkzeugmaschine, nicht numerisch gesteuert (Warenzusammenstellung in  Aufmachung für den Einzelverkauf aus Startlocherodiersystem -charakterbestimmend- und  Beipack) - sog. Startlocherodiersystem"

Sog. Ozon-in-Wasser-Generator - aus einem wassergekühlten Ozongenerator zur Ozongas-Erzeugung mittels elektrischer Entladung, Kontaktor zur Vermischung/Anreicherung von DI-Wasser mit Ozongas, Ozon- vernichter für nicht gelöstes Ozongas, Mess- und Regelgeräte zur ständigen Überwachung und Regelung der Prozessparameter, Gerätesteuerung und Stromversorgung, in einem Schrankgehäuse mit Kommunikations-Interface, Bedien- und Anzeigeelementen sowie Medien-Anschlüssen (Abbildung siehe Anlage), - zur Bereitstellung und Lieferung von mit Ozon angereichertem DI-Wasser für Substrat- Reinigungszwecke, - gleichermaßen zur Verwendung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen als auch zur Verwendung in der Displayindustrie geeignet. "Apparat von der ausschließlich oder hauptsächlich zum Herstellen von Flachbildschirmen verwendeten Art - sog. Ozon-in-Wasser-Generator (Apparat zur Herstellung von Halbleiter- bauelementen als auch zur Herstellung von Displays) - sog. Ozon-in-Wasser-Generator"

Sog. Subreflector Continous Lamp (Reflektor-Baugruppe), Teile-Nr. 121-00648 - in Form einer maßhaltig gefertigten Baugruppe aus sechs einseitig verspiegelten Aluminium-Reflektoren, Bohrungen mit Anschlussstücken für Kühlwasser-Ver- sorgung und Montageelementen, - zur Verwendung als Reflektor-Baugruppe (Lampenkörper) einer sog. Bogenlampe in einem Schnellheizsystem zum Erhitzen von Halbleiterscheiben (Wafers) im Rahmen der Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Teil, erkennbar hauptsächlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ware der Codenummern 8486 9010 00 0 bis 8486 9070 00 0 - Reflektor-Baugruppe"