Unfertiges Gerät zur Elektronenstrahllithografie, im Wesentlichen bestehend aus einer Plattform auf der ein Masken Schreiber für die Halbleiterproduktion montiert ist. Diese Plattform dient mit allen Komponenten dazu, Masken (das sind 15 x 15 cm große Glasscheiben, auf der sich eine Chromschicht und eine elektronensensitive Schicht befinden) Rohlinge einzubringen, zu positionieren und nach der Beschreibung wieder auszugeben; sie beinhaltet Aktuatoren und Sensoren welche durch die Elektronik in den sog. Racks angesteuert/geregelt werden. Die Verbindungen mit der Hauptplattform bestehen aus Strom (Signal und Strom), Wasser, Gas und Vakuum. Gesteuert werden die Einzelkomponenten durch eine zentrale Rechenstelle. Alle Bestandteile sind durch Kabel und Leitungen miteinander verbunden (funktionelle Einheit). (Angaben laut Antragsteller)

Allgemeine Vorschriften für die Auslegung der Kombinierten Nomenklatur (AV) 1, 2a und 6; Anmerkung 4) zu Abschnitt XVI; Anmerkung 11 C) zu Kapitel 84; Anmerkung 11 D) zu Kapitel 84; Erläuterungen zum HS zu Position 8486, Buchstabe D).