Gasversorgungssystem - aus Gasleitungen mit Anzeigevorrichtungen, Durchflussregler, Druckregler, Filter- und Ventilsystem sowie elektrischer Schnittstelle, auf einem Einbauträger mit Anschlüssen für Strom- und Gasversorgung, - zur Versorgung des Prozessmoduls mit Prozessgasen nach Integration in das Prozessmodul eines Waferschnellheizsystem zur Herstellung von Halbleiter- bauelementen. "Gerät von der ausschließlich oder hauptsächlich zum Herstellen von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ultraschallwerkzeugmaschine - Gasversorgungssystem"

AV 1 AV 6 Anm 2 a) ABS XVI Anm 9 D) Kap 84