BTI DEBTI41301/25-1
Description des marchandises
Vakuumbeschichtungsanlage (Abbildung siehe Anlage) - in Form eines modular aufgebauten Anlagensystems aus einem Gehäuse aus Stahl, Aluminium-Vakuumkammer (Abmessungen: 680 x 500 x 705 mm) mit aufklappbarer Fronttür und abnehmbaren Schmutzschutzschildern aus Edelstahl, PC-Kontrollstation mit integrierter Software und Display, Turbomolekularpumpe zur Vakuumerzeugung (Leistung: 2300 l/s), Druckregelungssystem, wassergekühlten Geschwindigkeitssensoren, Heizwendel, gewölbtem Substratträger, Kühl- und Erhitzungsvorrichtung, Ladeschleusen, Komponenten für thermische Verdampfung, Elektronenstrahl-Verdampfung und Plasma- und Ionenstrahl-Bearbeitung, variablen Winkeltischen für 3D-Beschichtung und komplexe Nanostrukturen, motorisiertem Linearmanipulator, Systemkontrolleinheit, Quellenverschluss, Vakuum-Beschichtungsofen, Elektronenstrahlquelle, Prozesskontrollsystem, zweiteiligem Substratverschluss sowie gitterloser Ionenstrahlquelle, - konzipiert zur Durchführung von Halbleiterverdampfung bzw. Elektronenstrahlverdampfung, - dient zum Beschichten von Halbleiterscheiben (Silizium- und Glaswafer) bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen mittels Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren), - in einer gemeinsamen Verkaufsumschließung mit einem zusätzlichen Satz Kammerwand- schutzschildern und Verschlussplatten sowie Sicherheits- und Zertifizierungssystemen (Bei- pack). Die Vakuumbeschichtungsanlage bestimmt den Charakter des Ganzen. "Maschinen, Apparate und Geräte von der ausschließlich oder hauptsächlich zum Herstellen von Halbleiterbarren (boules), Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen, elektronischen integrierten Schaltungen oder Flachbildschirmen verwendeten Art, keine Ware der Codenummer 8486 1000 00 0, Apparat zum Herstellen von Halbleiterbauelementen (Warenzusammenstellung in Aufmachung für den Einzelverkauf aus Apparat zum Herstellen von Halbleiterbauelementen - charakterbestimmend - und Beipack) - Vakuumbeschichtungs- anlage"