Wafer Handhabungsgerät - im Wesentlichen aus vier Kassettenstationen, mechanischem Achsen Roboter mit Vakuumgreifer, mechanischem Waferausrichter zum optischen Lesen von Wafer- beschriftung sowie Erkennungssystem für Wafer-Identifizierung und Kassettenbelegung, mit einer automatischen Datenverarbeitungsmaschine mit Bedieneinheit, Festplatten- und CD/DVD-Laufwerk, Keyboard und Stromversorgung - zum Sortieren von Wafern unter sequentieller optischer Erfassung und Transfer von Kassette zu Kassette. "Maschine zum Herstellen von Halbleiterscheiben (wafers) - sog. Wafer Sorter"

AV 1 AV 6 Anm 5 E Kap 84 Anm 9 A) Kap 84 Anm 9 D) Kap 84