BTI FRBTIFR-BTI-2017-08314
Description des marchandises
Partie de machine de dépôt et gravure de couches minces utilisées dans l’industrie de la microélectronique consistant en un mandrin électrostatique pour le maintien en place et la thermalisation des substrats. L’appareil consiste en un disque ou un rectangle revêtu d’électrodes et d’une couche diélectrique, et fixé sur des supports en métal pouvant contenir des dispositifs de refroidissement et/ou de chauffage. Le disque est composé de céramique.