FRBTIFR-BTI-2026-0147384862000
Implanteur ionique, qui sert à implanter des atomes dans des plaques de silicium dans l'industrie des semi-conducteurs.
Il comprend principalement un terminal (alimentations de puissance, source ionique, boite à gaz et analyseur de faisceau ), une ligne de faisceau (optique ionique, scanners), une chambre de process (chambre d’implantation, station de transfert), une interface utilisateur (écran tactile, oscilloscope,…).
Dimensions : 8 x 4.50 x 3 M.