Recherche douanière

Parties de machines et appareils utilisés exclusivement pour la fabrication de dispositifs à semi-conducteur, se présentant sous la forme de cibles de pulvérisation cathodique. Le produit est une pièce en métal, pouvant être monobloc ou soudée sur un support permettant sa fixation dans l’équipement. La pulvérisation cathodique utilise l’énergie du plasma (gaz en partie ionisé) à la surface d’une cible (cathode) pour arracher les atomes du matériau et les déposer sur un substrat (wafer de silicium ou plaque très fine de matériau semi-conducteur monocristallin, utilisée pour fabriquer des composant de microélectronique). La cible permet à la machine à laquelle elle est destinée de réaliser des dépôts métalliques de très faible épaisseur sur des supports divers (entrant dans la fabrication des semi-conducteurs, des composants électroniques, etc.). Les cibles se présentent sous des formes variées (ronde, rectangulaire, triangulaire,etc.) et sont composées de différents métaux ou alliages (aluminium, titane, tungstène, cuivre, etc.). Elles sont constituées d’un seul et même bloc de métal ou soudées sur un support équipé ou non de canaux de refroidissement. Des trous de fixation peuvent parfois exister.

Partie de machine de dépôt et gravure de couches minces utilisées dans l’industrie de la microélectronique consistant en un mandrin électrostatique pour le maintien en place et la thermalisation des substrats. L’appareil consiste en un disque ou un rectangle revêtu d’électrodes et d’une couche diélectrique, et fixé sur des supports en métal pouvant contenir des dispositifs de refroidissement et/ou de chauffage. Le disque est composé de céramique.

Partie d'électrovanne, se présentant sous la forme d'une aiguille ou d'un poussoir. L’aiguille (ou le poussoir) correspond à un composant mécanique d'une électrovanne. De forme cylindrique ou cruciforme, elle permet de transmettre un effort produit par un circuit magnétique à la partie active de l'électrovanne. Elle est constituée d’acier inoxydable (inox). Elle est amagnétique.

Composant mécanique se présentant sous la forme d’un siège cylindrique destiné à être installé dans un gicleur, un clapet ou une électrovanne pour servir d’appui à une bille ou un piston. Il permet d’assurer une étanchéité entre deux voies. Selon les références, il peut être doté de perçages ou fraisages radiaux pour favoriser le passage du fluide.

Partie d'électrovanne, se présentant sous la forme d'un tiroir. Le tiroir est un composant mécanique constitué en acier coulissant dans un corps d'électrovanne ou de clapet servant à orienter le fluide liquide vers certaines voies en fonction de sa position. Il peut être percé dans l'axe sur une partie de sa longueur. Il peut également comporter des trous radiaux.