Équipements de photolithographie dédiés à la production de composants et de circuits intégrés, par écriture directe par faisceau laser (gamme DILASE) et aligneurs de masque (gamme UV-KUB : la surface à travailler, couverte d’une résine photosensible et d’un masque, est exposée à un rayonnement ultraviolet émise par des LED UV qui attaque les surfaces non protégées par le masque) de haute résolution (de l’ordre du µm), s’adressant aux chercheurs et industriels, et directement conçus pour répondre à leurs besoins spécifiques, dans les domaines de la microfluidique ainsi qu’aux exigences et spécifications des professionnels de la microélectronique (réalisation de composants semi-conducteurs, circuits, puces électroniques…), de la photonique (réalisation de guides d’ondes), des MEMS, de la fonctionnalisation de surface etc. Ces appareils de microtechnologie, avec écran tactile, logiciel dédié et programmables par l’opérateur, bien adaptés au prototypage rapide, permettent « d’écrire » sur divers substrats (semi-conducteurs, verre, polymère, cristal, résine, film souple) afin de réaliser et fabriquer des masques ou diverses micro-structures dont la configuration est adaptée aux domaines d’application explorés par leurs utilisateurs (micro-électronique, optique intégrée, micro-optique, médical par exemple).

Règles générales 1 et 6 : le classement est déterminé par les notes de section et de chapitre, ainsi que par le libellé de position, de sous-position et de code NC. Note 9.D du Chapitre 84 : sous réserve des dispositions de la note 1 de la section XVI et de la note 1 du Chapitre 84, les machines et appareils répondant aux spécifications du libellé du n° 8486 devront être classés sous cette position, et non dans une autre position de la nomenclature. NESH du Chapitre 84, Paragraphe des considérations générales, Point D), qui indiquent que sous réserve des dispositions de la Note 1 de la section XVI et de la Note 1 du Chapitre 84, les machines et appareils répondant aux spécifications du libellé du n° 84.86 devront être classés sous cette position, et non dans une autre position de la nomenclature. NESH de la position tarifaire du 8486, Paragraphe B, Point 4), qui reprennent les équipements de lithographie. NENC relatives à la position 84 26 20 00 publiées au JOUE C 119/344 du 29/03/2019, portant sur les machines et appareils pour la fabrication de dispositifs à semi-conducteur ou des circuits intégrés électroniques.